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響應半導體碳足跡計畫 聯華氣體製程排碳量達業界最低

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響應全球零碳排,聯華氣體宣布,其氫氣製程的排碳量已達到業界最低,是台灣最先進、最環保的氫氣製造商。

氫氣是備受矚目的未來環保能源,也最常用於為電子加工過程中提供還原性環境,特別是在高溫過程中。此外,氫氣還可作為載氣應用於化學摻雜等薄膜製備或改性工藝,對於半導體晶圓製造商更是關鍵材料之一。

早在 1978 年,聯華氣體即在台中大肚廠建立了全國第一套「水電解」製氫設備,進行實際生產。惟在生產過程中,聯華氣體發現,水電解製氫必須消耗大量電力,並不符合 環保精神,因此隨即轉為採用蒸汽甲烷重整(Steam Methane Reforming,簡稱 SMR)製程,生產高純度氫氣。

聯華氣體表示,其 SMR 製程,堪稱目前全台灣最環保、最節能的氫氣製程。其中的重要關鍵,即是「碳捕捉及儲存(Carbon Capture and Storage, 簡稱 CCS)」技術。聯華氣體以 SMR 製程生產氫氣,在生產過程中,能捕捉高達 97%~99%以上的二氧化碳,經過壓縮冷凝處理,加以儲存。

聯華氣體指出,在全台灣的 SMR 氫氣製程,每天可以捕捉約 60 公噸二氧化碳,壓縮及冷凝後轉為二氧化碳產品,再次循環利用,相當於每天 6 公頃林地的固碳量。

如果將台電供電的排碳量納入計算,聯華氣體採用 SMR 製程生產氫氣及 CCS,每生產一立方公尺的氫氣,由台電所產生的二氧化碳有 0.8 公斤。相對的,採用「水電解」製氫,

由於耗電量極高,每生產一立方公尺的氫氣,由台電所產生的二氧化碳高達 2.5 公斤。

聯華氣體詹資深顧問表示,目前台灣的再生能源發電比例僅有 5.8%,而台灣現採用水電解製氫的業者,電力來源仍是以化石燃料發電廠為主。因此,水電解製 氫實際透過台電供電的排碳量,是聯華氣體 SMR 製程中使用台電供電的 3.1 倍,並未達到減碳的目的。

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