聯華氣體工業股份有限公司（聯華林德）宣布，將與宇川精密材料股份有限公司（宇川精密）合作，預計在未來兩年投資總計新台幣九千萬元在台南廠區共同開發三甲矽烷基胺（Trisilylamine，TSA）生產設備及產線，預計每年生產產能可達3.6噸，計畫於2020年第三季投產。
新型的TSA生產設備將採用最尖端的製程，並搭配先進的安全及分析基礎設施。考量供應鏈的應變計畫，生產廠區策略性的選在對TSA需求與日俱增的亞洲市場。
TSA主要用於在先進邏輯技術節點及3D NAND位元線主要氧化物填充，它使用FCVD機台來將矽電介質沉積到淺溝槽隔離技術（STI）中。由於3D NAND在存儲層中的堆疊層增長，從而增加了存儲孔的高度，因此TSA的使用正在成長。
聯華林德和宇川精密科技結合雙方在化學、製程技術及先進分析上加起來超過三十年的經驗，攜手開發TSA並預計在2020年第三季量產。聯華林德將獨家代理此產品的銷售，並將其納入Spectra EM品牌系列，率先以亞洲市場出發，陸續為全球半導體產業的客戶提供服務。
在雙方正式宣布合作後，聯華林德總經理唐靜洲先生表示：「我非常榮幸宣布這項新投資，這是本公司對在地生產特殊氣體承諾的持續實現。伴隨聯華林德Spectra EM產品組合，這項投資更能穩定供應我們在台灣、中國及亞洲的電子業客戶的需求。」
