麥瑞半導體（Micrel）於日前宣佈，該公司設在加利福尼亞州聖約瑟的晶圓代工廠，已開始投產微機電系統（MEMS），並表示已開始為一家MEMS廠商生產，同時也正在為其他幾家初創公司開發MEMS生產工藝。
據麥瑞半導體表示，投入了數百萬美元資金，新增了3D前端到後端對齊能力並購置了一台先進的DRIE蝕刻機。這套系統可精確蝕刻生產目前最先進的MEMS產品所需的極深溝道Through Silicon Vias（TSV）和極大空腔。
MEMS是利用半導體生產設備生產的用在半導體晶片上的機械部件。MEMS屬於高度專業化的專用器件，通常被用於製造安全氣囊、車輛控制、心臟起搏器和遊戲機中所用的壓力感測器、溫度感測器、化學感測器、振動感測器、光反射器、光敏開關和加速感測器。這項技術還被用於生產噴墨打印頭、讀寫頭上的微動器以及用來反射光束的全光開關。
麥瑞半導體進一步說明，晶圓代工部為商用和軍用IC設計商以及需要能滿足其具體應用和/或技術需求的生產解決方案的所有廠商提供代工服務。麥瑞半導體代工廠提供各種靈活的晶圓製造和加工資源，可以滿足少量生產或批量生產的各種特殊需求。代工廠已經獲得ISO14001:1996國際環境管理體系標準認證。環境管理體系標準認證旨在保證合規性，通過減少廢物和迴圈利用降低對環境的影響。
