ETEL推出全新的精密XY運動平台Vulcano，利用三層堆疊方式可與Theta, ZTheta, ZTheta Tip-Tilt模組搭配完成最多9軸應用，X、Y、Z、Tip-Tilt和Theta方向。由於平台的高度整合彈性，Vulcano非常適合用於晶圓的前製程段，例如：微影堆疊量測技術，關鍵尺寸以及薄膜量測等等。機械軸承的設計在XY平面與垂直方向提供極高剛性，允許高加減速度(可達2.5g)，最高速度(可達2m/s)，優異的雙向重複精度(X軸與Y軸:±250 nm)以及奈米等級的定位穩定性。Vulcano 內建高速高精度控制器AccurET與主動式制振平台QuiET ，能大幅增強精密運動性能。
主動式制振平台QuiET , 為全新的主動式制振系統(Active Isolation System)，能消除平台上因運動而導致的工作台和地面於6個自由度方向的振動。為了滿足半導體產業於高端應用的嚴格需求，ETEL的奈米等級穩定性，可消除99%以上的振動，達成史無前例的優越性能。
歡迎於SEMICON Taiwan 2016國際半導體展期間蒞臨海德漢與ETEL攤位J 2708，實際體驗ETEL精密運動平台Vulcano的優異性能。
