儀科中心攜手天虹科技 打造12吋叢集式原子層沉積ALD設備 (2020.09.08)

國家實驗研究院台灣儀器科技研究中心（國研院儀科中心）表示，台灣半導體產業是政府六大核心戰略產業發展重點之一。日前國研院與台灣半導體設備供應商天虹科技股份有限公司合作，挑戰半導體關鍵製程設備掌握於國外設備商的硬仗，以「原子層沉積技術」（Ato…