Advanced Energy為埃米時代打造電漿功率控制技術支援 (2023.07.26)

Advanced Energy發佈下一代穩定和可重複的精密射頻功率電源系統，協助客戶在下一代半導體製造中擴大產出和收益。eVerest射頻訊號產生器專為埃米時代蝕刻和沉積製程所需的精確電漿控制而打造，能夠支援高度可配置的多階層功率脈衝，從而…