精密儀器中心成功開發奈米製程微流量校正系統 (2003.01.28)

精密儀器發展中心近日宣佈成功開發出奈米製程微流量校正系統，可精確校正各式真空儀器及微小氣體流量計所使用的標準檢校儀器，應用範圍相當廣。國科會精密儀器發展中心表示，美國半導體氣體傳輸系統製造廠 Wolfe En-gineering總裁John…