達思針對濕式蝕刻清洗台製程推出新型使用端有害氣體清除系統 (2013.08.05)

全球半導體產業之廢氣處理技術領導廠商德商達思公司( DAS Environmental Expert GmbH ) 日前針對濕式蝕刻清洗台應用推出使用端(Point-of-Use)有害氣體清除系統SALIX。達思廢氣處理事業部總監Guy D…