VICTREX PEEK聚合物、VICOTE塗料和APTIV薄膜等高性能材料製造商英國威格斯公司（Victrex plc）宣佈，光罩全方位解決方案供應商-家登精密股份有限公司已採用VICTREX PEEK聚合物作為其最新款150mm單光罩標準機械介面傳送盒，簡稱光罩傳送盒（single-reticle SMIF-pod；RSP）應用的主要元件材料。透過將VICTREX PEEK聚合物具高硬度、極少的微粒產生量、高潔淨度以及強ESD性能等特性用於與光罩的所有接觸點上，此款專門設計的光罩傳送盒，能有效地在生產、傳送以及處理光罩過程中，減少微粒的產生與氣體的釋出。
光罩傳送盒應用的關鍵在處理傳送盒的過程中，包括打開與關上輸送箱時，需減少或避免微粒的產生或氣體的釋出。因此，嚴格選擇傳送盒的材料是相當重要。家登精密技術經理李柏欣表示：「處理和打開光罩傳送盒可能會導致光罩受到污染與損壞。此外，當半導體晶圓製程中透過傳送盒隔開光罩時，傳送盒必須滿足幾項重要的要求，包括：限制接觸面積，以確保光罩僅與斜削角接觸，而且不會在傳送盒內滑動；微粒區隔，以保護較小的圖形與大大降低晶圓製造成本；作業員區隔，以避免光罩處理失誤和刮傷以及ESD破壞；製程控制，以避免處理日益複雜的光罩時出現失誤。」
由於VICTREX PEEK聚合物具有高硬度、極少的微粒產生量、高潔淨度以及強ESD性能等特性，家登精密工業可放心地採用VICTREX PEEK聚合物於其光罩傳送盒的某些關鍵接觸點與處理點上。此外，VICTREX PEEK具有卓越的耐化學性、耐磨損性、耐水解性、優秀的電介質強度以及出色的耐輻射性能，因此能夠滿足、甚至超越該應用對關鍵材料的全部要求。特別是，VICTREX PEEK的微粒脫落特性較其他競爭材料更為優越，而且具有極低的可萃取物特性或揮發特性。李柏欣表示：「VICTREX PEEK獨特的綜合特性、優異的釋氣與微粒性能是我們選擇Victrex 的最大原因。」
