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力晶12吋廠將採用Asyst自動化設備

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晶圓廠自動化系統大廠Asyst宣佈該公司獲得力晶半導體數百萬美金訂單,力晶將於該公司第一座12吋晶圓廠12A之第二期“自動材料處理系統(AMHS)”使用Asyst之設備,並預計於2004年第一季開始裝機。

力晶表示,自動材料處理能力是DRAM廠提高生產力的關鍵因素之一,該公司選擇Asyst設備,是因為力晶12A第一期AMHS已採用該公司之解決方案,而基於其成效與可靠性,力晶決定在第二期繼續採用Asyst之12吋AMHS設備。

Asyst為圓廠自動化解決方案的主要供應商,該公司鎖定半導體晶圓業者與顯示器製造商,提供廠房隔離系統、加工過程中的材料管理、基座操作機器人技術、自動傳輸和載入系統、自動連通軟體等先進自動化設備。

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