SEZ Group近期發表旋轉型潮濕表面處理創新方案。新型Da Vinci系列方案具有最高產量與最小空間兩項優勢，為單晶圓製程提供高階的服務及可靠性。此款產品的模組化及多重反應室的設計能提供可靠的製程方案，進而大幅降低持有成本，同時滿足全球客戶對高產量製程的需求。Da Vinci方案結合SEZ通過產能驗證及創新研發的各種最佳技術，將協助業界加速轉移批次處理至單晶圓清洗技術。
現今的製造商需要精密的後段製程聚合物材料清洗系統，這些系統不但不會減緩生產線的速度，也不會增加生產線的複雜度，而此項需求在產能吃緊時，更將成為優先考量。Da Vinci系列方案的第一款產品 - DV-38F，內含八個反應室，其是針對90奈米以下12吋晶圓之後段製程所設計。SEZ宣佈已在高成長的亞洲市場接獲第一筆DV-38F訂單，新系統將取代無法滿足客戶對於可靠度需求的其它廠牌工具組，並預計於今年第三季將出貨。
