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Advanced Energy推出全新射频电源供应器 满足新一代蚀刻制程需求
Dressing udstyr   2021年01月22日 星期五 浏览人次: [1244]

电源转换、测量和控制系统解决方案开发商Advanced Energy Industries, Inc.宣布推出一款全新的Paramount HP 10013射频(RF)电源供应器。新产品推出之後,该公司旗舰产品Paramount RF电源供应器系列将会有更多型号可供选择。

全新的Paramount HP 10013射频(RF)电源供应器可确保Paramount 13.56MHz平台提供高达10kW的输出功率,能以较低的平均功率提供高能脉冲,确保脉冲功率的准确性和可重复性。
全新的Paramount HP 10013射频(RF)电源供应器可确保Paramount 13.56MHz平台提供高达10kW的输出功率,能以较低的平均功率提供高能脉冲,确保脉冲功率的准确性和可重复性。

Advanced Energy的电浆制程设备电源系统,适用於半导体蚀刻、介电质蚀刻、沉积、溅镀、离子植入等半导体和电浆薄膜制程设备,Paramount HP 10013沿用先进的电浆制程电源技术,且再进一步提升效能。

例如:Paramount HP 10013可确保Paramount 13.56MHz平台提供高达10kW的输出功率,这样的好处是,能以较低的平均功率提供高能脉冲,确保脉冲功率的准确性和可重复性。较高的功率则可提升电浆密度和离子能量,支援更快更深的电浆蚀刻制程步骤,并缩短沉积制程时间,满足先进的高深宽比蚀刻制程和新一代应用的要求。

Advanced Energy半导体及运算产品资深??总裁Peter Gillespie表示:「目前市场上的许多产品,包括消费产品,娱乐设备、工业制品、电脑系统以及运输工具,几??全部都要采用积体电路。按照这个发展趋势看,高精度制程设备电源系统的应用将会越来越广泛。我们的产业必须满足这些不断增加的需求,克服各式各样的挑战。Advanced Energy的Paramount产品系列率先采用脉冲射频技术,是业内首系列可量产的全数位射频电源供应系统。Advanced Energy今次推出更高功率的产品,让我们的客户可以利用创新的技术开发更为复杂的三维度系统架构和全新的物料。」

Paramount平台的数位架构可支援精确的电源管理,而且无需更换硬体便可更快将新的功能整合一起。全数位控制功能可以追踪电浆变化作出动态及即时的侦测,而且可以提供大功率的输出,并确保效能的可重复性。内建的数位介面可确保平台与其他射频电源供应器同步作业,也可无缝连接Advanced Energy一系列的Navigator和Navigator II数位匹配网路。

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