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首间压电式MEMS技术实验室 ST携手A*STAR和ULVAC促进制程创新
Dressing udstyr   2020年12月08日 星期二 浏览人次: [1875]

意法半导体(STMicroelectronics;ST)宣布与新加坡A*STAR IME研究所,以及日本制造工具供应商ULVAC合作,在意法半导体新加坡晶圆厂内联合打造一条以压电式MEMS技术为重点研究方向的8寸(200mm)晶圆研发生产线。此「Lab-in-Fab」研发生产线,全球首创将整合三间合作公司在压电材料、压电式MEMS技术和晶圆制造工具领域的领先技术,以及优势互补的研发能力,促进新材料和制程技术创新发展,加速企业客户的产品研发。

Lab-in-Fab实验室包括意法半导体在宏茂桥工业园区内一个新建的无尘室,将配备合作三方所提供的工具设备和专用资源,为MEMS研发制程科学家和工程师提供工作场所。IME微电子在压电式MEMS元件设计、制程整合和系统整合方面的知识和产业驱动力,将为研发生产线的发展提供积极的加值作用。

IME还将提供最先进的工具设备,确保科技创新成果顺利转化为产品,全部过程都在同一地点完成。新的研发生产线还将利用意法半导体现有资源,发挥在同一园区内之ST晶圆厂的规模经济优势。

预计「Lab-in-Fab」设施将在2021年第二季落成启用并出产首批晶圆,预计在2022年底量产。

意法半导体类比元件、MEMS和感测器(AMS)产品部总裁Benedetto Vigna表示,「我们与IME和ULVAC在此前已有较长的合作经验,这次新合作旨在共同创办世界领先的压电式MEMS材料、技术和产品研发中心。这个全球首创实验室将设立於意法半导体之策略要地━新加坡工厂。Lab-in-Fab将让我们的客户能够轻松完成从概念可行性研究到产品量产的转化过程。」

此次合作还可加强意法半导体新加坡公司现有的制程组合,并加速在前景可期的新应用领域采用压电式MEMS致动器,新兴应用包括智慧眼镜、AR头戴式装置和LiDAR系统使用的MEMS微镜;新兴医疗设备所使用的压电微机械超音波换能器(Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer;PMUT),以及商用和工业用3D印表机的压电式喷头。

IME执行院长Dim-Lee Kwong教授则表示:「IME、ST和ULVAC之间的合作专案构建了一个独特的研发生产线,这个生产线将采用压电材料开发创新产品,加强合作夥伴的竞争力。这些努力将会让高价值的研发继续扎根於新加坡,并证明新加坡仍是产业龙头开启技术创新和发展业务的首选地区。A*STAR将致力於协助在地中小型企业研发并利用我们的技术。我们欢迎企业与IME合作,使用Lab-in -Fab实验室设施进行概念验证。」

ULVAC执行长、资深研究员Koukou SUU博士进一步表示:「我们很高兴能成为ST和IME的Lab-in-Fab合作夥伴,为众多前景广阔的未来应用开发先进压电式MEMS产品,这也充分证明了ULVAC在压电MEMS制造技术解决方案市场上的领先地位。我们期待与合作夥伴密切合作,使合作圆满成功。」

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