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搜尋「surface micro- machining」,共 9

今年TIMTOS期間,不僅有歐系數控系統結合光學尺編碼器,展示其智慧製造及量測解決方案,比起過去埋設感測器更省時,且能即時回饋控制器。

在2016年TMTS陸續見到台中展現智慧機械之都的聚落實力、適用於未來智慧機械所需關鍵零組件及技術外;更重要的,是其能否成功連結國際,加速邁向工業4.0腳步。

傳統印刷電路導線基板通常是在上、下或是基板內部封裝電子元件,如果改用整合成形立體基板(MID),就可以在理想位置高精度、多次元封裝電子元件,同時還可以有效抑制電氣性噪訊對周圍環境的影響。

MEMS元件近來贏得市場的高度重視,這種應用上的創新設計,讓用戶有了全新的體驗感受,再加上加速度計在製程技術、成本、功耗與尺寸上的改善,讓它能夠打入產量最大的消費性電子市場。本文將介紹三軸加速度計的應用、製程與技術原理。

MEMS是一項結合電子與機械的微小化工程技術,是利用矽的機械性質所設計出的可移動結構,能夠感測不同方向的加速度或振動等運動狀況,應用半導體製程技術來製作各種微小的精密機械元件,而且能進一步與今日的光電系統整合,以提供精微的感測或控制能力。目前主流的製程技術有兩種,分別是體型微加工及表面型微加工。在技術上,線性加速度計需考量一些規格特性,包括數位式、滿量程、解析度、敏感度、低功耗以及歸零測試能力等。

半導體元件的加工尺寸進入奈米世代,但利用微細化技術提高半導體元件性能的願望一直不易實現,因此出現許多性能提升指標,其中利用歪斜(strain)效應與元件結構三次元化等技術最受囑目。本文將深入探討各種矽半導體元件的最新技術動向。

所謂CMOS-MEMS(CMOS-Compatible MEMS)是將半導體標準CMOS製程與微機電充分整合而成的技術,對於在半導體產業已有多年發展經驗的台灣來說,若能充分掌握相關技術應用,市場商機可謂潛力無窮;本文將深入探討目前CMOS-MEMS技術發展與應用趨勢,為讀者與相關業者指引此一領域之未來發展方向。

同屬微小尺度科技的微機電系統(Micro-Electromechnical System;MEMS)技術與奈米技術,雖說在製程尺寸與實質內涵上有所差異,並不適合將之混為一談,但因微機電技術可作為通往奈米科技研究的溝通橋樑,且已有多年的產業化基礎,可說是產業界邁進奈米世界的開路前鋒。本文將就微機電技術的發展與產業應用現況,為讀者作一概要的介紹。