账号:
密码:
智动化 / 產品 /

KLA-Tencor推出全新FlashScanTM产品线
针对光学和EUV空白光罩应用
Dressing udstyr   2017年08月18日 星期五 浏览人次: [9124]

KLA-Tencor公司宣布推出全新的FlashScanTM空白光罩检测产品线,自从1978年公司推出第一台检测系统以来,KLA-Tencor一直是图案光罩检测的主要供应商,新的FlashScan产品线宣告公司进入专用空白光罩的检验市场。 光罩??件制造商需要针对空白光罩的检测系统,用於制程开发和批量生产过程中的缺陷检测,此外,光罩制造商(“掩模厂”)为了进行光罩原料检测,设备监控和进程控制也需要购买该检测系统。 FlashScan系统可以检查针对光学或极紫外(EUV)微影的空白光罩。

/news/2017/08/18/0956023050S.jpg

“先进的微影技术从表徵良好的空白光罩开始。”KLA-Tencor的光罩和宽带等离子晶圆检测部总经理熊亚霖博士指出,“无缺陷的EUV光罩??件极难制造,这不仅推高了生产成本,也推延了EUV光刻可能带给下一代晶片制造的惠益。 我们全新的FlashScan空白光罩检测仪可以在裸基板,吸收膜和光阻涂层上捕获各种类型的缺陷。 此外,对比目前市场上的其他系统, FlashScan系统具有更高的产量和灵敏度,这将缩短空白光罩制造商和掩模厂的学习周期时间。”

利用KLA-Tencor晶圆缺陷检测系统的激光散射技术,FlashScan系统可以满足目前所有正在开发和生产的光学与EUV空白光罩对於灵敏度和检测速度要求。采用光罩检测市场独特的三通道数据采集系统,该系统可以对各种类型的光罩??件的缺陷进行检测,尺寸测量和区分,例如在空白光罩制造或运输期间可能出现在光阻上的针孔和掉落颗粒。

领先的掩模厂对高灵敏度、高产量和全类型的缺陷检测系统显示了浓厚的兴趣,这证明了市场对该产品的需求。为了保证空白和图案光罩制造商所需的优异性能和产量,FlashScan系统由KLA-Tencor全球综合服务网络 提供技术支持。有关新FlashScan产品系列的更多信息(包括当前型号的说明)请查阅FlashScan的网页。

相关产品
明纬推出NGE100(U)系列:100W环球通用4埠USB氮化??快速充电器
贸泽扩展来自先进制造商的工业自动化产品系列
凌华全新IP69K全防水不锈钢工业电脑专为严苛环境设计
igus马达控制系统快速设定 无须程式设计协助
凌华支援第14代 Intel处理器用於先进工业与 AI 解决方案
comments powered by Disqus
  相关新闻
» SEMI国际标准年度大会登场 揭??AI晶片致胜关键、软性电子量测标准
» 爱德万测试M4841分类机新增主动温控技术 提升元件产能、缩短测试时间
» 台湾精密机械进军国际半导体展 SEMICON汇聚机电护国龙脉崛起
» 施耐德电机提出数位化及电气化策略 协助半导体业迈向永续未来
» SEMICON Taiwan 2023明登场 日月光、环球晶圆、默克齐聚分享产业洞察
  相关文章
» 5G与AI驱动更先进的扇出级封装技术(一)
» COF封装手机客退失效解析
» 面对FO-WLP/PLP新制程技术的挑战与问题
» 在线量测针对表徵和控制晶圆接合极度薄化
» 晶圆代工之争方兴未艾
刊登廣告 新聞信箱 读者信箱 著作權聲明 隱私權聲明 本站介紹

Copyright ©1999-2024 远播信息股份有限公司版权所有 Powered by O3
地址:台北数位产业园区(digiBlock Taipei) 103台北市大同区承德路三段287-2号A栋204室
电话 (02)2585-5526 #0 转接至总机 / E-Mail: webmaster@hope.com.tw