帳號:
密碼:
智動化 / 新聞 /

Advanced Energy全新射頻電源供應器 滿足新一代蝕刻製程需求
[SmartAuto 編輯部 報導]   2021年01月22日 星期五 瀏覽人次: [1231]

電源轉換、測量和控制系統解決方案開發商Advanced Energy Industries, Inc.宣布推出一款全新的Paramount HP 10013射頻(RF)電源供應器。新產品推出之後,該公司旗艦產品Paramount RF電源供應器系列將會有更多型號可供選擇。

全新的Paramount HP 10013射頻(RF)電源供應器可確保Paramount 13.56MHz平台提供高達10kW的輸出功率,能以較低的平均功率提供高能脈衝,確保脈衝功率的準確性和可重複性。
全新的Paramount HP 10013射頻(RF)電源供應器可確保Paramount 13.56MHz平台提供高達10kW的輸出功率,能以較低的平均功率提供高能脈衝,確保脈衝功率的準確性和可重複性。

Advanced Energy的電漿製程設備電源系統,適用於半導體蝕刻、介電質蝕刻、沉積、濺鍍、離子植入等半導體和電漿薄膜製程設備,Paramount HP 10013沿用先進的電漿製程電源技術,且再進一步提升效能。

例如:Paramount HP 10013可確保Paramount 13.56MHz平台提供高達10kW的輸出功率,這樣的好處是,能以較低的平均功率提供高能脈衝,確保脈衝功率的準確性和可重複性。較高的功率則可提升電漿密度和離子能量,支援更快更深的電漿蝕刻製程步驟,並縮短沉積製程時間,滿足先進的高深寬比蝕刻製程和新一代應用的要求。

Advanced Energy半導體及運算產品資深副總裁Peter Gillespie表示:「目前市場上的許多產品,包括消費產品,娛樂設備、工業製品、電腦系統以及運輸工具,幾乎全部都要採用積體電路。按照這個發展趨勢看,高精度製程設備電源系統的應用將會越來越廣泛。我們的產業必須滿足這些不斷增加的需求,克服各式各樣的挑戰。Advanced Energy的Paramount產品系列率先採用脈衝射頻技術,是業內首系列可量產的全數位射頻電源供應系統。Advanced Energy今次推出更高功率的產品,讓我們的客戶可以利用創新的技術開發更為複雜的三維度系統架構和全新的物料。」

Paramount平台的數位架構可支援精確的電源管理,而且無需更換硬體便可更快將新的功能整合一起。全數位控制功能可以追蹤電漿變化作出動態及即時的偵測,而且可以提供大功率的輸出,並確保效能的可重複性。內建的數位介面可確保平台與其他射頻電源供應器同步作業,也可無縫連接Advanced Energy一系列的Navigator和Navigator II數位匹配網路。

相關新聞
明緯推出首款全數位化水冷電源供應器PHP-3500系列
台達電X光高壓電源獲德國萊因頒布醫療級雙認證
明緯醫療電源通過歐盟醫材品質管理系統EN ISO-13485: 2012驗證
明緯持續攀升世界電源排名
PULS的DIN軌道電源供應器即日起透過Digi-Key全球供貨
comments powered by Disqus
  相關產品
» 滿足電信機房需求 AE推出48V高功率直流輸入電源供應器
» Silicon Labs推出新款32位元MCU 擴展低功耗的IoT邊緣應用
» ST最新超低功耗MCU強化網路安全性 滿足智慧應用的嚴格要求
» Microchip推出高功率PoE至USB Type-C轉接器 符合IEEE新標準
» 英飛凌全新預測性維護評估套件 輕鬆監測智慧建築狀態
  相關文章
» 物聯網普及速度加快 資安需求已浮上檯面
» 擷取關鍵數據 感測器全面佈署工業與車用領域
» 用於能源管理應用的NFC
» 打造垂直貫穿OT、IT層的AIoT智能工廠
» 讓物聯網設備更安全


刊登廣告 新聞信箱 讀者信箱 著作權聲明 隱私權聲明 本站介紹

Copyright ©1999-2021 遠播資訊股份有限公司版權所有 Powered by O3
地址:台北市中山北路三段29號11樓 / 電話 (02)2585-5526 / E-Mail: webmaster@hope.com.tw