账号:
密码:
智动化 / 新闻 /

Advanced Energy推出全新射频电源供应器 满足新一代蚀刻制程需求
Dressing udstyr   2021年01月22日 星期五 浏览人次: [4429]

电源转换、测量和控制系统解决方案开发商Advanced Energy Industries, Inc.宣布推出一款全新的Paramount HP 10013射频(RF)电源供应器。新产品推出之後,该公司旗舰产品Paramount RF电源供应器系列将会有更多型号可供选择。

全新的Paramount HP 10013射频(RF)电源供应器可确保Paramount 13.56MHz平台提供高达10kW的输出功率,能以较低的平均功率提供高能脉冲,确保脉冲功率的准确性和可重复性。
全新的Paramount HP 10013射频(RF)电源供应器可确保Paramount 13.56MHz平台提供高达10kW的输出功率,能以较低的平均功率提供高能脉冲,确保脉冲功率的准确性和可重复性。

Advanced Energy的电浆制程设备电源系统,适用於半导体蚀刻、介电质蚀刻、沉积、溅镀、离子植入等半导体和电浆薄膜制程设备,Paramount HP 10013沿用先进的电浆制程电源技术,且再进一步提升效能。

例如:Paramount HP 10013可确保Paramount 13.56MHz平台提供高达10kW的输出功率,这样的好处是,能以较低的平均功率提供高能脉冲,确保脉冲功率的准确性和可重复性。较高的功率则可提升电浆密度和离子能量,支援更快更深的电浆蚀刻制程步骤,并缩短沉积制程时间,满足先进的高深宽比蚀刻制程和新一代应用的要求。

Advanced Energy半导体及运算产品资深??总裁Peter Gillespie表示:「目前市场上的许多产品,包括消费产品,娱乐设备、工业制品、电脑系统以及运输工具,几??全部都要采用积体电路。按照这个发展趋势看,高精度制程设备电源系统的应用将会越来越广泛。我们的产业必须满足这些不断增加的需求,克服各式各样的挑战。Advanced Energy的Paramount产品系列率先采用脉冲射频技术,是业内首系列可量产的全数位射频电源供应系统。Advanced Energy今次推出更高功率的产品,让我们的客户可以利用创新的技术开发更为复杂的三维度系统架构和全新的物料。」

Paramount平台的数位架构可支援精确的电源管理,而且无需更换硬体便可更快将新的功能整合一起。全数位控制功能可以追踪电浆变化作出动态及即时的侦测,而且可以提供大功率的输出,并确保效能的可重复性。内建的数位介面可确保平台与其他射频电源供应器同步作业,也可无缝连接Advanced Energy一系列的Navigator和Navigator II数位匹配网路。

相关新闻
明纬推出新一代机架式二合一电源供应器NCP-3200系列
明纬东协接轨国际 扩展市场新蓝海
明纬推出180W导轨式安控电源供应器DRC-180系列
明纬推出1500W高压输出电源供应器UHP-1500-HV系列
明纬推出高瓦数机壳型电源供应器LRS-450/600系列
comments powered by Disqus
  相关产品
» u-blox多功能Wi-Fi 6模组NORA-W4适用於大众市场
» Littelfuse超小型包覆成型磁簧开关适用於空间受限设计
» Littelfuse新款SM10系列压敏电阻突破汽车与电子产品浪涌保护成效
» 安勤全新EQM-EHL模组实现高画质视觉体验
» u-blox新款LTE-M模组整合GNSS增强工业连接性
  相关文章
» 开启边缘智能新时代 ST引领AI开发潮流
» 具备超载保护USB 供电ISM无线通讯
» 刚柔并济!拳拳到位的机器触觉!
» 模拟工具可预防各种车用情境中的严重问题
» 关键元件与装置品质验证的评估必要


刊登廣告 新聞信箱 读者信箱 著作權聲明 隱私權聲明 本站介紹

Copyright ©1999-2024 远播信息股份有限公司版权所有 Powered by O3
地址:台北数位产业园区(digiBlock Taipei) 103台北市大同区承德路三段287-2号A栋204室
电话 (02)2585-5526 #0 转接至总机 / E-Mail: webmaster@hope.com.tw