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学界研发创新实践的梦工厂仪科中心倾力支援
Dressing udstyr   2018年12月11日 星期二 浏览人次: [1507]

国家实验研究院仪器科技研究中心(仪科中心)於苗栗西湖渡假村举办「光学系统整合研发联盟2018交流研讨会」暨「国研院仪科中心技术服务推广说明会」。

晶圆检测精密量测平台上的平面叁考面镜(台湾大学陈亮嘉特聘教授提供)
晶圆检测精密量测平台上的平面叁考面镜(台湾大学陈亮嘉特聘教授提供)

来自北中南各大专院校的教授,以及涵盖晶圆代工龙头、精密光学制造、真空镀膜以及半导体设备等厂商齐聚一堂进行深入交流,并且由台湾大学机械工程系陈亮嘉特聘教授以「创新三维光学显微系统」为题,分享其团队研究成果,引发在场产学研界专家热烈??响。

国研院仪科中心秉持着「支援前瞻研究、服务学术创新」的重要使命,是国内唯一可协助学术界理工医农各领域开发前瞻研究所需客制化特殊仪器设备的单位,与各大学建立深厚的合作关系,提供仪器设备的研发合作或委托服务,积极链结学术能量,加速技术创新,打造仪器设备自研自制的筑梦平台,培育国内下一世代之产业人才。

由台湾大学陈亮嘉特聘教授与机械系研究团队所研发建置的「晶圆检测精密量测平台与关键光学量测探头模组」成果卓越丰硕,目标为运用於晶圆生产前段制程之精密量测或瑕疵检测工程,未来可整合国内厂商所研发之电子束扫描探头模组,开发晶圆N10新显影制程计画之缺陷检测关键技术与设备。

国研院仪科中心承接此精密定位平台的「关键三轴平面叁考面镜」(reference mirror)之制作,此「平面叁考面镜」之功能为提供雷射干涉所需之叁考平面,其平坦度要求会依据定位系统所需之精度等级而有所差异,且须使用加工困难度高的低膨胀系数材质制成,以确保定位平台的稳定性。

陈亮嘉教授团队研发的「晶圆检测精密量测平台」,结合仪科中心的工程设计实现与服务能量,实践其创新构想,为学研合作的卓越案例。

国研院仪科中心累积40多年真空技术及光学设计与镜片制作经验,并突破大囗径非球面镜技术瓶颈,为国内唯一能制作太空遥测卫星镜片之研发单位。除持续支持国内太空科技所需之高阶光学镜片与遥测镜头开发,同时亦将此技术能量支援前瞻研究及服务学术创新,链结学研界能量,协助国内产业技术再升级。

「光学系统整合研发联盟」自2013年成立交流平台以来,促成多件产学研三方合作之研究成果。国研院仪科中心期许能以深耕的光学及真空技术,提供学研团队研发平台与技术服务,一起实现产业升级、设备加值的台湾新蓝图。

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